cvd气相沉积炉 sl-凯发注册游戏

sl-cvd是一款pecvd 管式炉系统。该系统包含等离子射频电源，80mm od1500mm l的管式炉，通道质量流量供气系统和机械泵机组，可用于生长纳米或石墨烯材料。 · 射频电源可实现等离子增强从而显著降低试验温度。 · *高温度可达1200℃。 · 双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度。 ·  内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 · 开门断电，提高实验安全性。 · 客户可根据需求选购双温区沉积炉。 · 可在温度范围较大的条件下制备材料，如 碳、zno纳米管或纳米线及单层石墨烯等。