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(半导体)快速退火炉技术规格要求及参数
项目
名称
内容
备注
产品名称
(半导体)快速退火炉
主要技术参数
内胆尺寸
宽530*深430*高220mm
外形尺寸(约)
宽 920 *深900 *高 740 mm
温度范围
室温 mergefield "温度范围" ~ 450℃可调(根据加热板实际热承受能力而定)
加热方式
采用铸铝加热板,
温度波动度
≤±1℃
温度均匀度
测温探头的精度为±0.5℃,控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点,(恒温空载状态下)(加热板的温度均匀性±1℃)
升温速率
≤8℃/min .空载时升温速度:室温到200℃在8分钟内到达;
外壳温度
温升不超过环境 25℃,门周边除外。
电源
三相五线制,380v,50hz
总功率
20kw,使用功率16kw
箱 体 结 构 特 征
外壳材料
外层a3厚2.0冷板,
内胆材料
采用5mm厚sus304不锈钢板制作
保温材料
1. 采用1400型纤维毯保温
2. 具有不可燃烧,隔热性强等特点,厚度为60mm
烟气隔离罩
炉体左右后三个面用亚克力板围起来,炉体正面做对开式门,四周用玻璃胶密封,开炉时可让烟气有效排除。
密封材料
密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作,可耐温不变形,门与内胆采用单层密封形式,加强密封效果
门
配两个圆形观察窗,炉门密封圈不易老化和烧坏,真空门装有电脑控制气缸开启和关闭(闭合传感器,确定门关闭)可90度运动
观察窗
采用圆形观察窗口,观察窗直径80,生产过程一目了然
控制系统
加热部分
采用导热板加热,带水冷急速冷却
冷却部分
炉口方管及加热板
电箱
电箱与烘箱分离安装
抽真空
箱体抽气口加装电磁阀阀(带过滤器)直径100*180mm
氮气部分
氮气,需加电磁阀控制,气管管径直径8mm,设备侧面设有氮气接口和甲酸接口,并用一个三通的常闭电磁阀,其后再接一个电磁阀,以控制进入腔体的气体量,电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。
温控部分
1. 采用微电脑智能型温控器
控制器
采用台湾琦胜hm-782s触摸屏,精度高,稳定性好,设有手动,自动,工业设定等功能,配日本三菱plc控制器(fx2n-48mr),与台湾琦胜(型号pll-2010-002a)可编程控制器通讯控制,能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温,预留3个控温探头
流程:合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成(供方负责加工,需方负责编程设计)
温度传感器
搁板两个感温探头预留在加热板顶部对角处,加热板侧面配一个超温的感温探头,k型探头pid温度控制器需使用3个台湾琦胜温控器,2个程序表,1个显示表
自动恒温
1. 温控器可根据用户设定的温度值,采用pid自动计算输出功率的大小,
2. 越接近温度设定值时,输出功率越小,以达到恒温控制的目的,并可节能省电
真空度
采用数显zdz-52t/e 电阻真空计,传感器采用成都睿宝品牌,10分钟内抽至20pa,20分钟内漏率80pa。
电磁阀
(上海西马特)电磁阀,1:真空挡板阀gdq-7/kf16kf,2:截止阀(氮气充甲酸、水、空气gdc-a)3:压差式充气阀cyc-jq
超温报警
当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能
功 能
接地保护
结构件安全接地保护。
电源缺相、相序保护
配有相序保护器
环境温度
- mergefield "环境温度" 5℃-40℃
相对湿度
≤85%rh
ac380v±10%,50hz
免费进行技术培训。
上海金顿电炉有限公司
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